1、首先将单质碲与干燥的氯气反应得到四氯化碲，将四氯化碲溶于有机溶剂中，第一次固液分离，所得液相蒸发重结晶得到高纯四氯化碲，将高纯四氯化碲放入超纯水中，通入氨气，控制溶液pH值为6.5～7.5，使四氯化碲水解。

2、其次第二次固液分离，干燥，即得高纯二氧化碲。通过单质碲与干燥的氯气反应得到四氯化碲，并利用了碲与氯气的反应产物四氯化碲能溶于甲醇和无水乙醇，而碲中杂质与氯气的反应产物不溶于甲醇和无水乙醇的特性，从而将碲与其杂质分离。

3、最后将四氯化碲重结晶后进一步提高其纯度，再将四氯化碲放入超纯水中水解，所得二氧化碲纯度可达5N以上，也可出去二氧化碲的杂质。