浅谈等离子热喷涂①-Y2O3氧化钇涂层

！Q: 为什么要用氧化钇？Yttrium oxide powders for thermal sprayingA: 随着半导体显示器工业的纯熟与拓新，国内的蚀刻/刻蚀（etching）工程也在扩大。蚀刻工程中，与等离子接触的铝合金、石英、陶瓷等零部件会因为被轰击冲蚀而产生颗粒污染。这些颗粒污染会对关键零部件的…