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近日,国际晶体学领域权威期刊《Acta Crystallographica》发表了一项重要研究成果:科研人员采用光学浮区法(OFZ)成功生长出直径3.5-5毫米、长度达40毫米的氧化镁(MgO)单晶,纯度达到5N级(99.999%),较市售高纯氧化镁衬底晶体纯度提高一个数量级以上。
突破技术瓶颈:高纯氧化镁单晶的生长
氧化镁作为一种重要的宽禁带绝缘材料,熔点高达2825°C,蒸发速率极高,且具有完美的{100}解理特性,这些特性使其单晶生长极具挑战性。传统上,市售氧化镁单晶主要采用电弧熔融法生长,但该方法受限于电极等引入的杂质,晶体纯度通常仅能达到约99.99%(4N级)。
在本研究中,科研团队采用光学浮区法——一种无坩埚晶体生长技术,成功克服了上述挑战。研究团队使用高纯陶瓷原料(纯度99.995%及以上)作为进料棒,在氩气/氧气混合气氛中、绝对压力7.5-10.75巴条件下,以35-50毫米/小时的高生长速率成功制备出无裂纹的氧化镁单晶。
纯度验证:从4N到5N的跨越
研究团队通过微区X射线荧光光谱(µ-XRF)和电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)对生长晶体的化学成分进行了系统分析。结果显示,采用高纯陶瓷进料棒生长的晶体(M4、M5、M6)中,关键杂质含量显著降低:
钙含量降至 5-11 ppm
铝含量低至 10 ppm以下
钒、铬、钛、锰、锌等过渡金属杂质均低于检测限
这些数据证实,光学浮区法生长的氧化镁单晶纯度达到5N级(99.999%),较传统电弧熔融法生长的晶体纯度提升了一个数量级以上。
研究指出,光学浮区法作为无坩埚技术,避免了电极等部件对熔体的污染,同时由于熔体温度极高且表面积与体积比较大,锌、钒、铬、铁、锰等挥发性杂质在生长过程中被有效蒸发去除。这一净化机制是获得高纯度晶体的关键。
应用前景:为外延薄膜与新型器件提供理想衬底
高纯氧化镁单晶作为衬底材料,在多个尖端应用领域具有重要价值。
首先,外延薄膜生长是衬底材料最核心的应用方向。研究明确指出,所制备的高纯单晶经精密抛光后形成衬底,可“作为基于外延生长薄膜的新型器件概念开发的坚实基础”。外延薄膜是半导体器件、超导薄膜、磁性薄膜等功能材料的基础,衬底的纯度和晶体质量直接影响外延层的性能。
其次,透明陶瓷领域对高纯氧化镁有重要需求。氧化镁在可见光和近紫外光范围内具有强折射性,且透明度高,是透明陶瓷的重要组成材料。高纯氧化镁粉体作为烧结助剂,可显著提升透明陶瓷的致密度和光学性能。本研究制备的5N级氧化镁单晶,代表了氧化镁材料纯度的高端水平,为高性能透明陶瓷的开发提供了原料纯度参照。
再次,闪烁晶体和靶材领域同样依赖高纯度氧化镁。闪烁晶体是辐射探测器的核心材料,氧化镁可作为闪烁晶体的基质或掺杂基质;而高纯氧化镁靶材则广泛应用于磁控溅射等物理沉积工艺,用于制备光学薄膜、保护膜等功能薄膜。本研究中通过光学浮区法制备的高纯氧化镁单晶,验证了5N级氧化镁材料的可获得性,为上述应用领域的高纯原料供应提供了技术可行性支撑。
研究意义与未来展望
本研究首次证明了光学浮区法可用于生长氧化镁单晶,并将该材料的纯度标准从4N级提升至5N级。研究团队通过热力学计算和数值模拟,揭示了杂质蒸发机制和晶体生长过程中的温度场、应力场分布,为工艺优化提供了理论指导。
研究指出,下一步将聚焦于进一步稳定生长工艺、提高晶体纯度、降低晶体中气孔密度,并开展外延薄膜生长的后续研究。随着生长工艺的持续优化,高纯氧化镁单晶衬底有望在半导体、光电子、量子器件等前沿领域发挥重要作用。
*研究由欧洲研究理事会(ERC)提供资助,原文发表于 Acta Crystallographica Section B(2026年2月,第82卷,第2-13页)。*
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